মাইক্রোমেশিনিং প্রযুক্তি একটি অত্যন্ত নমনীয় প্রক্রিয়া, যা জটিল আকারের মাইক্রো উপাদান তৈরি করতে পারে। উপরন্তু, এটি উপকরণের বিস্তৃত পরিসরে প্রয়োগ করা যেতে পারে। এর অভিযোজনযোগ্যতা এটিকে ধারণা থেকে প্রোটোটাইপ, জটিল 3D কাঠামোর উত্পাদন এবং পুনরাবৃত্তিমূলক পণ্য নকশা এবং বিকাশের জন্য দ্রুত অপারেশনের জন্য বিশেষভাবে উপযুক্ত করে তোলে,
1. ভৌত মাইক্রোমেশিনিং প্রযুক্তি
লেজার রশ্মি প্রক্রিয়াকরণ: একটি প্রক্রিয়াকরণ প্রক্রিয়া যা ধাতু বা অ-ধাতু পৃষ্ঠ থেকে উপকরণ অপসারণ করতে লেজার রশ্মি দ্বারা পরিচালিত তাপ শক্তি ব্যবহার করে। এটি কম পরিবাহিতা সহ ভঙ্গুর উপকরণগুলির জন্য আরও উপযুক্ত, তবে এটি বেশিরভাগ উপকরণের জন্য ব্যবহার করা যেতে পারে।
আয়ন রশ্মি প্রক্রিয়াকরণ: মাইক্রো / ন্যানো উত্পাদনের জন্য একটি গুরুত্বপূর্ণ অপ্রচলিত উত্পাদন প্রযুক্তি। এটি বস্তুর পৃষ্ঠের পরমাণুগুলিকে অপসারণ, যোগ বা সংশোধন করতে ভ্যাকুয়াম চেম্বারে ত্বরিত আয়ন প্রবাহ ব্যবহার করে।
2. রাসায়নিক মাইক্রোমেশিনিং প্রযুক্তি
রিঅ্যাকটিভ আয়ন এচিং (RIE): একটি প্লাজমা প্রক্রিয়া যেখানে পদার্থগুলি কম-ভোল্টেজ চেম্বারে থাকা সাবস্ট্রেট বা ফিল্মগুলিকে খোঁচাতে আরএফ ডিসচার্জ দ্বারা উত্তেজিত হয়। এটি রাসায়নিক সক্রিয় পদার্থ এবং উচ্চ-শক্তি আয়ন বোমাবাজির একটি সমন্বয়মূলক প্রক্রিয়া।
ইলেক্ট্রোকেমিক্যাল মেশিনিং (ECM): ইলেক্ট্রোকেমিক্যাল প্রক্রিয়ার মাধ্যমে ধাতু অপসারণের একটি পদ্ধতি। এটি সাধারণত বৃহৎ আকারের উত্পাদন এবং অত্যন্ত শক্ত সামগ্রী বা উপকরণগুলির প্রক্রিয়াকরণের জন্য ব্যবহৃত হয় যা ঐতিহ্যগত পদ্ধতি দ্বারা প্রক্রিয়া করা কঠিন। এর ব্যবহার পরিবাহী উপকরণের মধ্যে সীমাবদ্ধ। ECM কঠিন এবং বিরল ধাতুতে ছোট বা অনিয়মিত কোণ, জটিল কনট্যুর বা গহ্বর কাটতে পারে।
3. যান্ত্রিক মাইক্রোমেশিনিং প্রযুক্তি
ডায়মন্ড বাঁক: প্রাকৃতিক বা সিন্থেটিক ডায়মন্ড বিট দিয়ে সজ্জিত একটি লেদ বা ডেরিভেটিভ মেশিনের সাহায্যে নির্ভুল উপাদানগুলি বাঁক বা মেশিন করার প্রক্রিয়া।
ডায়মন্ড মিলিং: একটি কাটিং প্রক্রিয়া যা একটি গোলাকার ডায়মন্ড টুল ব্যবহার করে বৃত্তাকার কাটিং দ্বারা অ্যাসফেরিক লেন্স অ্যারে তৈরি করতে ব্যবহার করা যেতে পারে।
নির্ভুলতা গ্রাইন্ডিং: একটি ঘষিয়া তুলিয়া ফেলিতে সক্ষম মেশিন যা ওয়ার্কপিসকে একটি সূক্ষ্ম পৃষ্ঠের ফিনিস এবং 0.0001" এর খুব কাছাকাছি সহনশীলতায় মেশিন করার অনুমতি দেয়।
পলিশিং: একটি ঘষিয়া তুলিয়া ফেলিতে সক্ষম প্রক্রিয়াকরণ, আর্গন আয়ন বিম পলিশিং একটি মোটামুটি স্থিতিশীল প্রক্রিয়া, যা টেলিস্কোপ মিরর ফিনিশিং এবং যান্ত্রিক পলিশিং বা ডায়মন্ড বাঁকানো অপটিক্যাল ডিভাইসের অবশিষ্ট ত্রুটিগুলি সংশোধন করার জন্য ব্যবহৃত হয়। এমআরএফ প্রক্রিয়া হল প্রথম নির্ধারক পলিশিং প্রক্রিয়া। বাণিজ্যিকীকৃত এবং অ্যাসফেরিক লেন্স, প্রতিফলক, ইত্যাদি উৎপাদনে ব্যবহৃত হয়।
